光刻技术制造微型J-T制冷器工艺简介

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【摘要】

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本文综述 W·A·里特尔(Little)等人,采用光刻技术研制微型 J-T 制冷器的工艺研制近况。 This article reviews the current state of the art in the development of minia

【作者】

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谢方金

【出处】

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低温与超导

【发表日期】

：

1983年04期

【关键词】

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制冷器光刻技术 J-T 里特尔工艺简介制冷机微米玻璃基片刻蚀斯特林制冷机

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本文综述 W·A·里特尔(Little)等人,采用光刻技术研制微型 J-T 制冷器的工艺研制近况。 This article reviews the current state of the art in the development of miniature J-T chillers by W. Little et al. Using lithography.

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