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在各种不同的激光中，Nd:YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近，由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半导体、医学、微电子工业在内的许多工业领域的一系列材料加工应用。
准分子激光用于徼如土
【摘 要】
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在各种不同的激光中，Nd:YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近，由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半导体、医学、微电子工业在内的许多工业领域的一系列材料加工应用。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1989年26期
【基金项目】
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