【摘 要】
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本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球
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本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｎｍ，横向分辨率小于２ｕｍ。
This article discusses a high-resolution spherical micro profiler. Instrument consists of three parts: bifocal lens polarization common-mode interference system; five-dimensional spherical scanning table and drive system; common mode suppression electronic processing system. Can be used for a variety of spherical surfaces (such as optical lenses, spherical mirrors and balls, etc.) non-destructive testing. The measured results show that the instrument’s vertical resolution up to 0.1nm, horizontal resolution of less than 2um.
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