论文部分内容阅读
减反射膜层折射率和厚度的精密监控是超辐射发光管的关键技术。分析了超辐射发光管端面减反射膜的四种膜系，提出了监控薄膜厚度的挡板调制、高级次过正极值法。采用该法制备超低剩余反射膜的实验表明：单面镀膜后，砷化镓基片的剩余反射率达到O．04％；管芯的反馈谐振被抑制，出现超辐射现象，峰值波长从1610nm移动到1560nm，蓝移约60nm，光谱纹波小于0．3dB。