涂胶，烘烤和显影工艺的表征

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【摘要】

：

涂胶，烘烤和显影工艺的表征＝Ｃｈａｒａｃ－ｔｅｒｉｚｉｎｇｃｏａｔ，ｂａｋｅ，ａｎｄｄｅｖｅｌｏｐｐｒｏｃｅｓｓｅｓ［刊，英］／Ｍｏｈｏｎｄｒｏ，Ｒ．…／／ＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＴｅｃｈｎｏｌ．－１９９３，３６（７）．－８７～９０随着统计质量控制方法的... Characterization of Gumming, Baking, and Development Processes = Charac-terizingcoat, bake, and develop

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年04期

【关键词】

：

涂胶统计质量控制实验设计方法正交设计光刻胶均匀性计量技术标准偏差

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