声表面渡(SAW)力传感器

来源 :气动实验与测量控制 | 被引量 : 0次 | 上传用户:binhaiwz_2009
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本文对声表面波(SAW)力传感器的基本工作原理进行了理论分析,同时对该传感器进行了实验研究。实验获得了约2.3kHz/9.8×10~(-3)N 的力灵敏度。实验表明该传感器是一个线性传感器,对于微力测量十分敏感。 In this paper, the basic working principle of SAW force sensor is analyzed theoretically, and the sensor is also studied experimentally. Experiments obtained about 2.3kHz / 9.8 × 10 ~ (-3) N of the sensitivity of the force. Experiments show that the sensor is a linear sensor, which is very sensitive to the force measurement.
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