论文部分内容阅读
针对CCD的结构和制作工艺特点,设计出适合CCD的过程控制监控(PCM)测试图形,通过对光刻分辨率、套刻精度、薄膜电容、孔电阻等进行监测,稳定了CCD的工艺水平,提高了CCD的良品率。
CCD制作中的PCM测试图形
【摘 要】
：
针对CCD的结构和制作工艺特点,设计出适合CCD的过程控制监控(PCM)测试图形,通过对光刻分辨率、套刻精度、薄膜电容、孔电阻等进行监测,稳定了CCD的工艺水平,提高了CCD的良品
【机 构】
：
重庆光电技术研究所,
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
：
2008年06期
其他文献
用电导数技术测量了高功率半导体激光器及阵列激光器的m值,讨论了影响m值大小的因素及与器件质量的相关性。结果表明,m值是器件质量和可靠性的重要标志之一,对于同种器件,质
本文着眼于全媒体时代的背景,探讨报纸版面如何利用视觉识别形成自己独特风格并形成报纸的品牌形象。笔者以《北京青年报》为例,运用个案分析法分析了它的版面视觉识别系统的
介绍了目前海洋石油污染的原因、转化形式和主要危害,并对目前海洋石油污染修复中待解决的问题进行了探讨。在对现有3类修复方法(物理、化学和生物修复方法)的应用成果和最新
渗透水流将会对土石坝的坝体以及坝基渗透破坏产生巨大的危害性。本文依托金佛山水电站工程,根据沥青混凝土心墙堆石坝方案的地质条件及渗流控制特点,建立了平面有限元计算分
通过对杭州市庆春路钱塘江隧道的地面沉降值的监测数据进行分析,提出了采用双子网络来进行盾构法隧道地面沉降预测的可行性。采用杭州市庆春路钱塘江隧道的地面沉降值的监测
[目的]优选银杏叶中总黄酮的提取方法。[方法]以乙醇为提取剂,采用冷浸、热浸、回流和超声4种不同方法提取银杏叶中的总黄酮,并通过UV法测定总黄酮含量作以比较。[结果]最佳
阐述了现行道路选线设计中存在的不确定因素对整体选线设计的影响,分析了在道路选线经济评价中引入风险评估思想,并以风险估计结果作为选线设计可行性分析的一个重要参数的可
<正>运动能促进雄性激素分泌,它对男性性欲的产生和性功能的维持有十分重要的作用,但不是维持成年人性欲和性功能的唯一因素。运动后,人体新陈代谢会加快,增加一种重要的激素
期刊
为深入了解流域景观演变规律并有效保护高原湖泊,以滇西北剑湖流域为研究对象,基于1990-2015年6期剑湖流域以及1974-2015年8期剑湖湖泊Landsat影像数据,在Arc GIS平台下采用F
<正> 出血性坏死性肠炎是一种非特异性急性肠炎,多见于小儿。在我国儿科界的概念中包括两组病人,一种散发在各年龄组患者的“急性出血性坏死性肠炎”,另一种是特发于新生儿时