【摘 要】
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提出一种IC缺陷特征的提取算法,该算法能自动检测出IC缺陷的位置.在预处理阶段,利用形态开运算消除小缺陷和背景噪音,对开后的结果图像进行形态腐蚀,获得冗余物型缺陷的位置特征.实验证
【机 构】
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西安电子科技大学应用数学系,西安电子科技大学计算机学院
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提出一种IC缺陷特征的提取算法,该算法能自动检测出IC缺陷的位置.在预处理阶段,利用形态开运算消除小缺陷和背景噪音,对开后的结果图像进行形态腐蚀,获得冗余物型缺陷的位置特征.实验证明了该算法的正确性.该结果为计算机自动检测IC真实缺陷提供了有效的途径.
A feature extraction algorithm of IC defect is proposed, which can automatically detect the position of IC defect. In the preprocessing stage, the morphological opening operation is used to eliminate small defects and background noise, and the post-opening result image is morphologically eroded to obtain the position characteristics of the redundant type defects. The experiment proves the correctness of the algorithm. This result provides an effective way for the computer to automatically detect the real defects of the IC.
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