Mo／Si多层膜界面离子束处理及TEM观察

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【摘要】

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【作者】

：

薛钰芝林纪宁

【机构】

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大连铁道学院

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1994年06期

【关键词】

：

原子分子物理 Mo Si TEM观察射线源电子束蒸发同步辐射装置超高真空系统溅射沉积粗糙度

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Ｍｏ／Ｓｉ多层膜界面离子束处理及ＴＥＭ观察薛钰芝Ｒ．Ｓｃｈｌａｔｍａｎｎ，林纪宁Ａ．Ｋｅｐｐｅｌ，Ｊ．Ｖｅｒｈｏｅｖｅｎ（大连铁道学院，大连１１６０２２）（荷兰ＦＯＭ原子分子物理研究所）软Ｘ射线多层膜（ＭｕｌｔｉｌａｙｅｒｓｆｏｒＳｏｆｔＸ－ｒａｙＯ... Ion Beam Processing and TEM Observation of Mo / Si Multilayer Interfaces Xue Yuzhi R. Schlatmann, Lin Jining Keppel, J. Verhoeven (Dalian Railway Institute, Dalian 116022) (Netherlands FOM Atomic and Molecular Physics Institute) Soft X-ray multilayer film (MultilayersforSoftX-rayO ...

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