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在微系统的研究和设计中，计算机辅助设计软件工具的开发是一个非常重要的研究领域。讨论了微系统ＣＡＤ的系统模型层次，介绍了一些重要的ＣＡＤ项目的研究现状，并指出了微系统专用ＣＡＤ研究中存在的两个关键问题。
微系统CAD的研究现状及展望
【摘 要】
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在微系统的研究和设计中，计算机辅助设计软件工具的开发是一个非常重要的研究领域。讨论了微系统ＣＡＤ的系统模型层次，介绍了一些重要的ＣＡＤ项目的研究现状，并指出了微系统专用ＣＡＤ研究中存在
【机 构】
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重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年6期
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