【摘 要】
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本文介绍了利用文献[18]中炉体结构所提供的材料出气数据[1]来计算高温下材料总出气量,并利用蒙特卡洛法对障板流导几率的计算结果,作为设计高真空系统简便而准确的手段。同
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本文介绍了利用文献[18]中炉体结构所提供的材料出气数据[1]来计算高温下材料总出气量,并利用蒙特卡洛法对障板流导几率的计算结果,作为设计高真空系统简便而准确的手段。同时文中推荐,应根据机械泵的使用效率作为设计前级真空系统的基本原则,
In this paper, the material outgassing data [1] provided by the furnace body structure in [18] is used to calculate the total outgassing of material at high temperature. Monte Carlo method is used to calculate the probability of baffle conductance as the design of high vacuum System is simple and accurate means. At the same time recommended in the article, should be based on the efficiency of the mechanical pump as a pre-design vacuum system, the basic principles,
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