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欧洲微电子研究中心（Interuniversity MicroelectronicsCentre。即IMEC）与其合作伙伴共同开发了在200毫米硅片上生长GaN／A1GaN的技术。
IMEC利用CMOS工艺制程GaNMISHEMTs
【摘 要】
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欧洲微电子研究中心（Interuniversity MicroelectronicsCentre。即IMEC）与其合作伙伴共同开发了在200毫米硅片上生长GaN／A1GaN的技术。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2011年7期
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