用于形貌测量的反射式光纤传感器研究综述

• 作 者: 杨瑞峰 胡晨昊 郭晨霞 盖婷 郎国伟
• 机 构: 中北大学仪器与电子学院,山西省自动化检测装备与系统工程技术研究中心
• 出 处: 测试科学与仪器：英文版
• 发表日期: 2018年1期
• 关键词: 反射式光纤传感 形貌测量 探头结构 干扰补偿 reflective intensity-modulated fiber optic sensor(RIM-FOS
• 基金项目: Foundation items:Youth Science and Technology Research Foundation of Shanxi Province(No.2015021104),Programs for Science and Technology Development of Shanxi Province(No.201703D121028-2)

区别于传统接触式表面形貌测量技术,光纤传感器具有非接触无损检测等独特优点。本文简要介绍了用于测量表面形貌的反射式强度调制光纤传感器(RIM-FOS)的原理及性能特点,并与其他几种主流形貌测量方法对比。综述其在表面形貌测量中的应用与发展过程,分析反射式光纤传感器在表面形貌测量中热点问题的研究现状,总结并展望今后的发展趋势。