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英特尔、IBM和摩托罗拉公司与美国3个国家实验室合作，最近推出划时代的超紫外线光刻芯片制造设备。
采用超紫外线技术制造计算机芯片的原型机问世
【摘 要】
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英特尔、IBM和摩托罗拉公司与美国3个国家实验室合作，最近推出划时代的超紫外线光刻芯片制造设备。
【出 处】
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国外科技动态
【发表日期】
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2001年5期
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