【摘 要】
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回顾ＬＳＩ的发展历史，Ａｌ布线取得了巨大的成功。铜（Ｃｕ）布线与之相比，最大的优势是电阻更低，抗电迁移性强，因此随着器件频率的提高尤其是高速微处理器的出现，对铜布线实用化的期待日益升高。但
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回顾ＬＳＩ的发展历史，Ａｌ布线取得了巨大的成功。铜（Ｃｕ）布线与之相比，最大的优势是电阻更低，抗电迁移性强，因此随着器件频率的提高尤其是高速微处理器的出现，对铜布线实用化的期待日益升高。但是，铜布线的引入不是简单地将互连材料由铝换成铜。由于铜与铝的物理、
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