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6自由度运动系统误差辨识是一项复杂而费时的工作。为了准确、高效地辨识出导轨几何误差,提出了一种新的误差辨识法,详细讨论了误差辨识的基本原理。该方法由6自由度运动系统导轨的误差模型和多体系统相邻体运动关系为基础,能通过测量仿真区域内10条直线的位移误差快速、精确地确定三个导轨的全部21项几何误差,缩短了误差辨识时间,且辨识过程中只需位移测量设备,是6自由度运动系统,甚至9自由度运动系统中误差辨识的有效方法。