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采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在Zr-4合金基底上,通过调节O2流量制备出(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕仪(nanoindentation)以及电化学工作站等对不同O2流量下制备的(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层,进行了微观结构、形貌、纳米硬度以及耐腐蚀性能进行了表征与测试。结果表明,在O2氛围作用下,涂层相结构由fcc完全转变为bcc结构;随O2流量由0mL/