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ATLAS为所有使用电离NF，为腔体清洗方式的CVD工艺（如，大多数的PECVD，HDPCVD，WCVD，等）提供最省钱的尾气处理管理。
BOC Edwards @ Semicon China 2007
【摘 要】
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ATLAS为所有使用电离NF，为腔体清洗方式的CVD工艺（如，大多数的PECVD，HDPCVD，WCVD，等）提供最省钱的尾气处理管理。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年3期
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