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来源 :电子科技大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
随着现代科技的飞速发展以及5G时代的来临,无线通信所使用的电磁波频率越来越高,也越来越拥挤,无线设备也不断向着低功耗与小型化的方向发展,对高性能、可集成、低功耗、微型
【作 者】
:
欧黎
【出 处】
:
电子科技大学
【发表日期】
:
2018年01期
【关键词】
:
薄膜体声波谐振器
滤波器
集成电路
氮化铝
微机电系统工艺
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