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目前,在表面形貌测量领域,扫描探针测量装置是最直接、最能如实反映被测试件表面形貌的有效工具。扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,STM)作为扫描探针显微镜家族的一员,在金属导电材料表面形貌测量领域有着广泛的应用,但其小测量范围、较弱的深-宽比测量能力这两个缺陷一直是该技术的诟病,也限制了它的应用范围,因此开展大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜技术的研究对现代微纳测量具有重要的现实意义和工程应用价值。论文设计并构建了一套大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜