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Fe基非晶软磁合金具有优异的软磁性能,如磁导率高、电阻率大,磁损低、矫顽力小、磁滞伸缩小等。然而,由于非晶属于热力学亚稳定结构,在一定的条件下,会发生晶化,进而影响材料的软磁性能。相应的解决措施是进行控制晶化处理,获得纳米晶组织来改善稳定性,同时软磁性能不会因此发生明显恶化。为获得非晶箔,对现有的EBPVD设备进行了改进。增加了一套基板冷却系统,以避免沉积过程发生非晶——晶化相变,最终获得了制备非晶FeSi箔的工艺。研究了制备态非晶合金的微观组织结构和电磁性能;然后对制备态非晶FeSi合金进行后续的晶化热处理,研究晶化工艺参数和晶化处理后的合金微观组织结构及电磁性能的关系。研究结果表明制备态合金呈非晶结构,主要含有Fe和Si两种元素,且硅含量非常低,约为0.197%。依据大块非晶研究领域公认的Inoue成分限定条件,不可能得到这种简单的双组元非晶。之所以突破此成分限定条件,在于所采用的工艺方法具有极高的冷却速率。采用XRF、XRD、AFM、PPMS和VSM等多种测试手段,对制备态非晶合金和晶化处理后合金的成分、组织结构、微观形貌和电磁性能进行了分析表征合金的电阻率为ρ=5.68×10-4?mm,其值大于硅钢片的电阻率(4.4×10-4?mm)。制备态合金具有很高的初始磁导率(13000)和高的饱和磁感应强度(2.1T),此饱和磁感应强度已经接近电工纯铁。晶化工艺参数对合金的微观组织结构和电磁性能显著影响。随晶化热处理温度升高,合金中非晶态组分减少,晶态组分增加,合金中原本存在的大颗粒开始分化,形成很多纳米尺寸的小颗粒。晶化热处理温度增加,晶相增加,合金的电阻率单调降低,但是磁性能并无显著变化。在晶化热处理时施加外磁场,发现合金的微观组织结构和电阻率的变化规律无显著差别,但可导致磁性能的各项异性程度增加,沿磁场方向上的软磁性能优于垂直于磁场方向。