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本文设计了一种新型的电磁驱动位错型微机械可变式光衰减器，它的工作波长为1550nm，主要由平面线圈型微驱动器、硅弹性系统和单模光纤三部分组成。其工作原理是：平面线圈型微驱动器驱动由硅悬臂梁支撑的硅弹性平台，使得安装在此平台上的输入输出光纤产生径向位错，造成耦合效率的降低从而实现对光功率的衰减。
分别采用磁路定理和毕奥-萨伐尔定理分析了本文所设计的铁芯型微驱动器和所产生的电磁力。在分析计算的基础上，并结合实际加工工艺对铁芯型微驱动器的各项参数进行了优化。
硅弹性系统以及平面线圈这两部分是分别独立制作，最后再将它们装配在一起而构成整个光衰减器，最后把整个衰减器密封在封装盒中，本文最终制作的是封装有8个衰减器单元的衰减器阵列器件。