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【摘 要】
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该论文对微机械加工工艺与IC工艺的兼容性问题进行了深入的研究,成功地开发出一套与IC工艺相兼容的微流量控制系统制作工艺流程,实现了集成微流量控制系统的设计、优化与制作
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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1999年期
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