【摘 要】
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集成光学是光电子学的一个新兴分支，是一门与光学、电子学、固体物理有关的边缘科学，是基于薄膜传输光频波段的电磁能而发展起来的一门学科，又称薄膜光电子学，是在已有的微波、激
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集成光学是光电子学的一个新兴分支，是一门与光学、电子学、固体物理有关的边缘科学，是基于薄膜传输光频波段的电磁能而发展起来的一门学科，又称薄膜光电子学，是在已有的微波、激光、半导体物理和集成电路的基础上提出的设想。平面光波导是集成光学中非常重要的一种波导模型，相对于其它波导模型，它具有模型简单，物理概念清楚，较易分析的特点。如果能对平面光波导的特性参数测试有方便实用的测试方法，则有利于对更为复杂的条形光波导进行定量分析与测试，进而为集成光学器件的研究奠定了良好的基础。本篇论文以平面光波导的理论研究与特性参数的测试为重点，从以下几个方面展开工作：1. 铌酸锂是制作无源光波导的主要材料，其制作光波导有两种常用的方法：Ti扩散法及质子交换法。质子交换技术是近年来集成光波导研究中较为广泛采用的方法之一，具有很多优点。本文分析了质子交换的基本原理，质子交换光波导的特性。2. 质子交换技术有一些难以克服的缺点，对其进行退火处理能改善其部分性能。文章分析了退火对质子交换波导的影响，以及退火质子交换光波导的折射率分布情况。 3．工艺对波导器件的研制及其重要。本文结合退火质子交换铌酸锂条形光波导对波导器件的制备工艺：溅射保护掩膜、质子交换、退火处理、去除保护掩膜、端面抛光等工艺进行了详细研究。4．用“棱镜—薄膜耦合器法”测试了平面光波导的参数。平面光波导的主要特性参数是波导的折射率n和厚度w，决定这些参数的方法有许多种，我们采用“棱镜—薄膜耦合器法”来测量这些参数。文章详细分析了测试原理，并据此编制了计算程序。根据试验测得的同步角算出了所测光波导的折射率n和膜厚w，进行了误差分析，并提出了解决方案。
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