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MEMS电磁扫描微镜的无模型控制方法研究
【摘 要】
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MEMS扫描微镜是伴随着微机电系统技术的快速发展而逐渐得到广泛关注的一种微型光学器件,由于其具有体积小、成本低、功耗低、灵敏度高、可批量生产等许多优良特性,因此在高清投影显示、现代光学通讯、以及下一代激光雷达等诸多领域有着十分广阔的应用前景。近年来,国内外大量的研究员对MEMS扫描微镜展开深入的研究,通过分析微镜所固有的特性,设计该系统的控制器来提高微镜的性能,MEMS扫描微镜的控制已经逐渐成为一
【机 构】
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东华大学
【出 处】
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东华大学
【发表日期】
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2021年01期
【基金项目】
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