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【摘 要】
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该论文旨在制作一种由Si和SiO介质膜形成的具有平顶响应特性的全介质滤波器.提出了一种台阶型FP腔结构的平顶滤波器实现方法.根据该方法,滤波器的共振腔分成具有不同厚度的两
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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中国科学院半导体研究所
【发表日期】
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2004年期
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