Ni-Mn-Ga快淬薄带及薄膜合金的成分、结构和应变性能的研究

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Ni-Mn-Ga磁性形状记忆合金是一种新型金属功能材料,不但具有受温度和应力控制的形状记忆效应,而且具有受磁场控制的磁性形状记忆效应。因此,Ni-Mn-Ga合金兼有大回复应变、高响应频率和可精确控制的综合特性,受到人们的普遍关注,有望成为压电陶瓷和磁致伸缩材料之后的新一代驱动与传感材料。 Ni-Mn-Ga单晶虽然具有最大的磁致应变,但是其制备工艺复杂,生产效率低,成本高。另外,也存在成分敏感性大、材料脆性大等问题,限制了合金的应用。快淬技术能有效的改善合金的脆性,可实现快速、批量生产,并且快淬薄带的特定尺寸也可直接满足一些应用需要。本论文采用快淬技术制备了Ni-Mn-Ga薄带合金,研究了快淬工艺对合金相变、结构、磁致应变效应的影响,揭示了快淬多晶合金中获得大应变的内在原因。也特别对Ni-Mn-Ga薄膜合金的制备工艺及性能进行了初步研究,为材料在微机电系统中的应用奠定基础。 系统研究了多晶Ni45Mn29+xGa23-x(x=0~4.0)系列合金的成分、马氏体相变温度、居里温度、合金电子浓度及相结构之间的关系。Ms随合金e/a的增大而线性升高。Tc随合金e/a的增大而减小,但是变化范围在345~370K之间。当Ms在室温附近时,合金具有较低的相变滞后温度,特别是x=1.5时,△T只有4K,这在以前的文献中未见报道。合金母相晶胞体积随e/a的增加而增加,而马氏体相晶胞体积随e/a的增加而减小。制备了多晶Ni50Mn26Ga24-yFey(y=0~23)和Ni50Mn26Ga24-zCoz(z=0,2,4)掺杂系列合金,发现掺杂元素对合金的马氏体相变的影响较为显著。当Fe含量y≥12时,合金有第二相析出,不显示热弹性马氏体相变过程;而对于掺Co合金,当z=4时,就没有明显的热弹性马氏体相变过程。 不同淬速的Ni47Mn32Ga21和Ni50Mn27Ga23薄带合金也具有典型的热弹性马氏体相变过程,但马氏体相变温度降低,随淬速升高,相变温度降低的越多。从相变热力学角度分析得出结论,Ms与母相晶粒直径的-1/2次方呈线性关系,即母相晶粒愈细,其Ms愈低。快淬薄带合金具有可完全回复的热弹性形状记忆效应。Ni47Mn32Ga21合金铸态样品的相变应变为-0.1%,6m/s快淬薄带的相变应变为-0.35%,而磁致应变为-0.043%,此应变值约为铸态样品的8倍。提出快淬工艺通过快速冷却在薄带合金内部引入较大的取向内应力,能够使相变过程中形成的马氏体变体择优取向,是提高合金应变的主要原因。 首次研究了Ni50Mn27Ga23快淬薄带粘结成的块体合金在厚度方向上的热弹性形状记忆效应,在无外加磁场条件下的相变应变为拉伸应变,最大应变可达0.3%;在施加1T磁场时则变为收缩应变,最大应变可达-0.46%。磁场不仅对粘结块体合金的相变应变具有较大的增强作用,而且可以改变形变的方向。 Ni50Mn26Ga19Fe5快淬薄带也具有典型的热弹性马氏体相变过程,合金的Ms比铸态合金有所降低,并随淬速的升高,快淬合金的Ms逐渐降低。Tc则变化不大。Ni50Mn26Ga19Fe5铸态合金具有正的磁致应变,最大应变可达0.1%,经过多次循环后,应变值稳定在0.08%,这是目前所报道的相同条件下(无外应力、可完全回复)所获得的最大磁致应变。 采用直流磁控溅射在Si、Cu、NaCl三种基片上制备了Ni-Mn-Ga薄膜,当溅射功率为22.5w,靶基距为40mm,溅射Ar气压为0.1Pa时,得到的薄膜成分与靶材成分较为接近。三种基片上沉积的薄膜表面均可见明显的岛状结构,表明Ni-Mn-Ga薄膜的形成为典型的核生长型机制。Cu基片上的薄膜在1.1T磁场下,磁致应变可达0.009%。NaCl基片上分离的无约束薄膜在1.3T磁场下,磁致应变可达-0.008%,是目前所报道的相同磁场下所获磁致应变的2倍。Ni-Mn-Ga薄膜(Si基片)的弹性模量为3.79GPa,薄膜硬度为251.29MPa。
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