【摘 要】
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研究了不同方法制备的金刚石膜在成核、结晶和生长方面的特性,给出了制备高品质金刚石膜,特别是金刚石定向生长的一些规律性结果.较为系统、全面地研究了影响金刚石膜热导率
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研究了不同方法制备的金刚石膜在成核、结晶和生长方面的特性,给出了制备高品质金刚石膜,特别是金刚石定向生长的一些规律性结果.较为系统、全面地研究了影响金刚石膜热导率的因素,优化的工艺条件制备出热导率14W/K.cm左右的高导热金刚石膜.建立了金刚石膜抛光、切割和金属化的工艺技术,金刚石膜热沉应用于大功率半导体激光器使其热阻降低45~50%,光输出功率提高25%.采用键合与反向减薄技术制备出直径50mm的金刚石膜上的薄层硅(SOD)集成电路芯片材料,研究了该材料的热导特性和金刚石膜电阻率的辐照特性.采用SOD材料研制出CMOS/SOD结构的集成电路,表明该材料与集成电路工艺兼容,通过与传统的体硅电路相比,SOD电路具有明显的抗辐射和耐高温特性.
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