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大面积过渡金属硫化物及其异质结构调控生长与性质研究
【摘 要】
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二维材料作为未来替代硅基材料的候选者之一,自诞生以来一直受到研究者的关注。二维过渡金属硫化物(TMDCs)作为二维材料的一个重要分支,在光电器件领域有着其独特的应用前景,而高质量TMDCs材料的可控制备是实现其集成器件与产业化关键。目前,TMDCs主要通过CVD方法生长,但传统的CVD方法在气流、反应物分布等方面存在诸多的不足,严重影响了其薄膜尺度、晶体质量,并成为制约其器件应用的瓶颈。为了解决上
【机 构】
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厦门大学
【出 处】
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厦门大学
【发表日期】
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2020年07期
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