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【摘 要】
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原子层沉积(ALD)技术在光电器件中有广泛的应用,沉积的薄膜具有均匀性好,致密性高,台阶覆盖优异等特点。有机电致发光(OLED)是新型显示和照明器件,向着更薄,柔性,大尺寸方向
【出 处】
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上海大学
【发表日期】
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2015年01期
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