库仑力驱动的液滴数字传输芯片研究

来源 :中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanchh520
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过操控液滴方法实现的数字微流控芯片,由于没有可动部件、不需要微管道结构、控制简单、溶液利用率高、兼容性好等优点,得到了国际上的广泛关注。本论文设计、制作并测试了基于库仑力驱动的数字液滴传输芯片。   论文首先介绍了目前数字微流控芯片的各种驱动方式,分析了各自的驱动原理,比较了其优缺点。在此基础上,对库仑力驱动的数字液滴传输芯片研究状况和目前存在的问题进行了分析。用数值模拟的方法,系统分析了极板间距、膜层材料和驱动电压等对库仑力驱动的影响。在理论分析的基础上,以实现灵活的两维驱动和降低驱动电压为目标,设计了正方形阵列横向结构和多种纵向结构的芯片。   其次,对不同结构芯片的工艺流程分别进行了详细的说明,分析并解决了流片过程中的关键工艺问题。系统研究了疏水膜层的制备条件和性能,优化了多孔氧化铝膜的制备参数,解决了其氧化均匀性问题。成功制备了不同介质层厚度和具有超疏水膜层的数字微流控芯片。   再次,搭建了芯片的测试平台,自行研制了驱动控制电路,测试了制备的数字微流控芯片。最后,分析并阐述了降低驱动电压的方法,通过采用介电常数较大的SiN介质层,减薄介质层厚度,极大的降低了驱动电压,同时成功实现了灵活的两维驱动。在15V和13.5V的驱动电压下,分别在空气和硅油中实现了对去离子水液滴的流畅驱动。首次将多孔氧化铝超疏水膜层应用于微流体芯片制作,并且成功实现了对去离子水液滴的驱动。  
其他文献
苏打盐渍化土壤胶体吸附大量交换性Na~+,造成土壤团聚体崩解,粘粒分散,阻塞土壤孔隙。改良苏打盐渍土需两步:一是提供钙源替换交换性Na~+,二是排出盐分。本文研究了腐解玉米秸秆和脱硫石膏不同改良组合对苏打盐渍土淋洗脱盐效率影响。结果表明,所有改良处理均能改善土壤入渗,入渗速率大小为:脱硫石膏>脱硫石膏+腐解秸秆>腐解秸秆>对照;含脱硫石膏处理显著提高土壤饱和导水率(Ks),在短时间内腐解秸秆处理不
大部分真核生物的基因含有内含子。基因表达过程中,前体mRNA的内含子需要通过RNA剪接去除才能形成有功能的RNA。RNA的剪接通过剪接复合体催化完成。剪接复合体是一个巨大而又
随着无线通讯技术的高速发展,数字多媒体广播(DVB)技术孕育出新的生命力,它的发展将推动整个广播电视产业的变革。DVB技术把传统的广播技术推向一个新的高度,引起了多方面的高度
近年来随着图像压缩技术的飞速发展,涌现出了许多采用不同压缩技术的音视频标准。与此同时,伴随人们对视频质量要求的不断提高以及高分辨率显示设备的迅速普及,高分辨率视频应用
摘要:在初中化学教学中,创设教学情境,实现初中《化学课程标准》提出的教学目标,可以通过演示实验创设、设计化学问题、利用实物及多媒体展示、通过新闻报道等方面来创设学习情境。  关键词:教学情境;《化学课程标准》;学习兴趣;探究能力  中图分类号:G633.8 文献标识码:A 文章编号:1992-7711(2016)05-0033  《化学课程标准(实验稿)》明确提出:使每一个学生以愉快的心情去学习生
随着电子设备、特别是便携式产品的飞速发展,产品可完成的功能越来越多,需要集成不同功能的模块才能实现完整的设备功能。要想将这些不同功能的模块整合为一个设备,理想的设计方
本文通过对荣华二采区10
期刊
OFDM是当前主流的宽带通信技术之一。由于具有较高的频谱利用率和较强的抗多径干扰能力,在DAB、DVB、WLAN、WiMAX、ADSL、Homeplug等无线或有线通信系统中得到广泛应用,并被认
Bystin-like(Bysl)基因最初被定义为早期胚胎着床相关的粘附分子,后续研究提示,该基因可能在预核糖体RNA的成熟过程(pre-ribosomal RNAprocessing)起到重要作用。我们的研究结
雌激素相关受体α(Estrogen related receptorα,ERRα)是一种孤儿核受体,至今仍未找到其天然配体。目前认为雌激素相关受体α主要参与能量代谢的调控;雌激素相关受体α主要通
学位