研磨机液体静压转台倾斜轴系承载特性研究

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研磨机主要应用于光学元件、航空、汽车、模具、宝石及各种五金行业的精密超精密加工,尤其在光学元件行业有着广泛的应用前景。研磨机转台是研磨机的核心部件,相比于现有的滚动轴承支承式转台,静压转台具有磨擦磨损小、回转精度高、阻尼减震性好和寿命长的优点;以往对静压转台性能的研究多局限于非倾斜轴系,而静压转台在实际运行中将发生不同程度地倾斜,倾斜影响静压转台承载性能,严重时使得静压转台支承件与被支承件发生刮擦而使研磨机不能正常工作。因此对研磨机静压转台倾斜轴系承载特性进行研究十分必要。本文设计开发了适用于精密超精密研磨机的闭式液体静压转台并已申报了发明专利(实用新型已授权,专利号CN201220388052.7)。该转台相对于普通开式液体静压转台刚度精度显著提高、抗倾覆力矩强。提出了当量油膜厚度的概念以及利用当量油膜厚度去计算液体静压转台倾斜轴系承载特性的当量油膜厚度法。当量油膜厚度法是在微元积分法的基础上改进得来的,采用微元积分法和当量油膜厚度法对静压止推轴承和静压径向轴承倾斜油膜承载特性进行了解析比较研究;结合闭式静压转台具体结构建立了反映闭式静压转台整体倾斜承载特性的力学模型,并与传统开式静压转台的承载性能进行了对比研究。采用商用CFD软件对静压止推轴承和静压径向轴承倾斜油膜的流场进行了数值计算,研究了结构参数和工作参数对倾斜油膜流场特性的影响规律。利用微元积分法和数值计算法验证了当量油膜厚度法的正确性,在保证计算精度的同时显著提高了计算效率,弥补了微元积分法和数值计算法效率低的不足。利用当量油膜厚度法所建立的解析理论,研究得到了各影响因子对静压止推轴承、静压径向轴承、开式和闭式静压转台倾斜承载特性的影响规律。利用湖南海捷主轴科技有限公司搭建的闭式液体静压转台实验平台对闭式液体静压转台的油膜厚度、刚度和流量等物理量进行了检测。实验表明:该闭式静压转台运行平稳,综合性能好,检测得到的典型数据与理论计算值吻合较好,证实了所提出研究方法和分析结论的正确性。本文提出的当量油膜厚度法和相关研究结果对静压转台的设计及结构工作参数优化具有重要的参考价值。
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