【摘 要】
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激光扫描技术可精确控制激光束的指向,广泛应用在激光雷达、激光测量、显微成像、激光加工等领域,近年来得到了科研界和工业界的广泛研究。与传统激光扫描器相比,本文所研究
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激光扫描技术可精确控制激光束的指向,广泛应用在激光雷达、激光测量、显微成像、激光加工等领域,近年来得到了科研界和工业界的广泛研究。与传统激光扫描器相比,本文所研究的压电式激光扫描器可以实现高精度的小角度范围扫描,解决了激光扫描的轴间干扰问题,但由于压电驱动器本身的迟滞非线性效应的影响,使其扫描精度受到限制。而本论文所研究的基于压电陶瓷驱动激光扫描器,利用FPGA平台,设计并实现了闭环负反馈滑模控制算法,提升了压电式激光扫描器的扫描线性度和精度,充分体现了压电驱动激光扫描器体积小、控制精度高的优点。本文以压电式激光扫描器为研究对象,开展数字化控制系统的研究,完成机械结构设计和仿真、滑模控制器设计、硬件电路和软件控制逻辑设计,搭建测试平台完成系统测试。论文的主要研究内容如下:介绍了压电式激光扫描器的课题背景与研究意义,调研了激光扫描器、滑模控制算法和现场可编程门阵列的国内外研究现状,论证了本控制系统的可行性,确定了本文的研究内容。在机械结构方面,分析了压电式激光扫描器的工作原理,对影响扫描器性能的关键部件--压电驱动器进行了仿真和测试,获得了相对最佳的结构参数。在控制算法方面,提出基于位敏探测器(PSD)的闭环负反馈方案,研究滑模控制器的工作原理和设计方法,通过设计合适的滑模面和控制率,完成了本系统的滑模控制器的设计。在控制算法实现方面,设计了以FPGA芯片为核心的模数转换和数模转换硬件电路,并依据布局布线原则对其PCB板进行了设计。详细介绍了基于FPGA实现的滑模控制算法各功能模块的工作原理,对所设计的模块用modelsim进行仿真,验证了各模块的可行性。搭建压电式激光扫描器控制系统测试平台,完成了模数和数模转换电路以及控制系统的测试。测试结果表明,所设计的滑模控制算法能对开环工作时压电驱动器的迟滞非线性实现补偿。
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