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二氧化钛薄膜作为光催化的理想材料,在环保领域有巨大的应用潜力,目前已经得到了广泛的研究。但由于TiO_2为宽禁带半导体,对太阳光的利用仅局限于紫外部分,并且TiO_2的光生电子空穴复合几率很高。因此,许多研究者都把掺杂其它元素和制备复合的二氧化钛半导体薄膜作为提高其光催化性能的有效途径。本研究课题以纯钛靶和纯钨靶为靶材,采用反应磁控溅射法在玻璃基片上制备非晶态TiO_2:W薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计、X光电子能谱仪、薄膜厚度测试仪及扫描探针显微镜等测试手段