【摘 要】
：
宽禁带半导体在日盲紫外探测方向具有广阔而重要的前景,所以近年来,以Ga2O3为代表的第三代半导体成为人们研究和讨论的热点问题,其中Ga2O3:Sn薄膜化学稳定性好、光电性能优异,是制备新一代深紫外探测器的理想材料之一。磁控溅射法成本低廉、应用广泛、工作温度低,适合大规模应用于工业生产中。因此,本论文利用射频磁控溅射实现了蓝宝石衬底和硅衬底上的Ga2O3:Sn薄膜及其日盲紫外探测器件,并对其光电探测
论文部分内容阅读
宽禁带半导体在日盲紫外探测方向具有广阔而重要的前景,所以近年来,以Ga2O3为代表的第三代半导体成为人们研究和讨论的热点问题,其中Ga2O3:Sn薄膜化学稳定性好、光电性能优异,是制备新一代深紫外探测器的理想材料之一。磁控溅射法成本低廉、应用广泛、工作温度低,适合大规模应用于工业生产中。因此,本论文利用射频磁控溅射实现了蓝宝石衬底和硅衬底上的Ga2O3:Sn薄膜及其日盲紫外探测器件,并对其光电探测性能进行了研究:（1）在蓝宝石衬底上制备Ga2O3:Sn薄膜,原位退火不足以令Ga2O3:Sn结晶。提高退火温度会令薄膜光学带隙变宽。但过高的退火温度会影响器件的光电性能。溅射气氛中氧气含量过低时,会加大Sn的掺杂比例,降低薄膜光学带隙的同时也降低结晶质量;低压条件下制备Ga2O3:Sn薄膜可以起到调控带隙的作用,但也降低了晶体质量;在中间气压区域,结晶质量较好,晶粒尺寸均匀。（2）在硅衬底上制备Ga2O3:Sn薄膜,生长低氧缓冲层,可以得到更高质量的晶体;溅射功率过高会导致薄膜表面粗糙度增大,结晶程度变差;与在蓝宝石衬底上生长Ga2O3:Sn薄膜时相似,通过改变氧氩比可以调控Sn的掺杂比例;提高退火温度Ga2O3:Sn薄膜的晶粒尺寸会逐渐增大,但过高的退火温度会令薄膜的致密性下降。（3）对于硅衬底上的Ga2O3:Sn器件,通过掺杂Sn元素,可以起到提高器件灵敏度的作用,但也会延长载流子的弛豫时间;低退火温度下器件有很高的响应度和外量子效率,可以达到3.467 A/W、1694%,但提高退火温度可以加快载流子的复合速度。而对于蓝宝石衬底上的Ga2O3:Sn器件,样品的暗电流相较于Si衬底低了一到三个数量级,这是由于在蓝宝石上生长的多晶薄膜,结晶质量好,氧空位较少、多数载流子浓度低导致的。
其他文献
目前全球老龄化形势日益严重,因人体衰老、伤病带来的下肢运动能力受损不可避免。辅助下肢肌力衰退人群的传统设备种类繁多,虽然可以一定程度上解决肌力衰退人群移动的问题,但并不能为使用者提供良好的辅助效果,很难保证使用者的生活质量。为改善上述的问题,近些年出现一系列以减小穿戴者代谢能耗、康复助力为目的的无动力下肢外骨骼机器人,根据其辅助关节的个数划分,可分为多关节无动力下肢外骨骼机器人与单关节无动力下肢外
利他行为是一种对他人有益的,没有明显自私动机的自愿性行为,对个体的生存与发展有着重要意义,同时也是构筑和谐社会的一个重要因素,这使利他行为一直是心理学的研究热点。大学生作为社会发展的储备力量,对利他行为的认识和实施,反映了社会的发展趋势。利他行为的影响因素有很多,例如情绪、认知、人格等。相对剥夺感作为一种负性情绪的情绪体验,个人公正世界信念作为一种认知因素以及自尊作为一种人格特质,对利他行为会产生
实际矿场实践表明体积压裂技术是致密油藏增产的最有效方法。水平井经过多段多簇压裂可以在井附近储层产生大量的体积缝网,有效改善致密油藏的开发效果。利用试井资料评价多段压裂水平井的有效缝网是致密油藏科学开发的基础,有必要建立一套针对致密油藏多段压裂水平井的不稳定压力响应模型及动态反演技术,为裂缝参数反演和压裂效果评价提供技术支持。首先深入调研了国内外致密油藏多段压裂水平井试井分析模型、致密油藏多段压裂水
华北油田高30断块以多层砂岩油藏为主,在高含水后期油藏油水分布复杂,剩余油存在方式、分布规律、控制因素及潜力规模等精确描述难度大。本文尝试利用机器学习技术进行油藏参数预测,提高孔渗预测的精度,借助神经网络技术进行沉积微相自动识别以及三维单砂体模型的建立,简化人工操作流程,提高砂体模型的精度,在此基础上,利用数值模拟手段量化剩余油分布,为开发方案制定提供依据。目的层Es2段油藏为浅水三角洲前缘沉积,
目的 探讨体外超滤在心力衰竭利尿剂抵抗患者的应用效果。方法 以100例利尿剂治疗无效的心衰患者为对象,随机分为对照组与观察组。对比两组治疗效果。结果 观察组总有效率为94.00%（47/50）,高于对照组80.00%（40/50）（P<0.05）。观察组呼吸困难评分、血氧饱和度（SaO2）、N-末端脑钠肽前体（NT-proBNP）水平高于对照组,体质量、中心静脉压（CVP）水平低于对照组（P<0.
浅水三角洲沉积是油气储集的有利场所,也是当前三角洲沉积学中研究的热点。但目前针对浅水三角洲中的特殊复合砂体——指状砂坝的构型差异与基准面旋回的关系目前尚不清楚。论文以渤海湾盆地BZ25-1S油田新近系明下段的指状砂坝沉积为例,综合应用岩心、测井和地震资料,表征了研究区指状砂坝构型特征,并结合沉积数值模拟,探讨了基准面旋回对指状砂坝构型的控制机理。研究表明:（1）研究区明下段可以划分为1个完整的长期