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本论文通过理论推导和计算机模拟,对ABO_3型氧化物薄膜的生长机制进行了较为深入的研究,并利用所得的规律指导实验。论文研究工作主要从以下几个方面进行:①针对物质源为分子源的情况,模拟了SrTiO_3薄膜的初期生长过程,由于计算能力的限制,物质源简化为SrTiO_3、SrO、TiO2三种分子,分别模拟了不同沉积速率,不同基底温度下薄膜初期生长情况;②以ABO_3型多元氧化物薄膜的生长是通过晶胞的扩散来实现为理论基础进行模拟,考虑了晶胞初始动能的影响,采用动力学蒙特卡罗方法发展了模拟SrTiO_3薄膜外