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溶胶—凝胶浸渍涂布工艺制备金属氧化物半导体气敏薄膜的研究
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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中国科学院合肥智能机械研究所
【发表日期】
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1994年期
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