【摘 要】
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天然单晶金刚石车削加工具获得超高精度加工表面的重要手段,其刀具刃口锋利程度是影响加工精度的重要技术参数.目前国际上传统锋锐轮廓测量法及其各种改进法均不能很好解决亚
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天然单晶金刚石车削加工具获得超高精度加工表面的重要手段,其刀具刃口锋利程度是影响加工精度的重要技术参数.目前国际上传统锋锐轮廓测量法及其各种改进法均不能很好解决亚微米至纳米量级锋锐轮廓的测量问题,使金刚石刀具的研究磨工艺水平徘徊不前,制约了超精密加工技术进一步向更精度的水平提高,锋锐轮廓高精度测量技术成为领域国际前沿难点和热点课题之一.课题"金刚石刀具刃口轮廓三维测量技术的研究"的目的就是在现有各种微小尺寸测量方法的基础上,研究一种新的测量原理和方法,以满足亚微米至纳米量级刃口锋锐轮廓精密测量需求.为此,该论文首先分析金刚石刀具刃口对超精密加工表面的影响机理,找到超精密加工的关键技术难题是刃口锋税轮廓的高精度测量.并在综述国内外刀具刃口锋锐轮廓各种测量方法发展现状基础上,提出基于原子力微探针瞄准和微尺三维坐标测量相结合的理论和方法.
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