【摘 要】
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基于表面等离激元的光学元器件可以突破光学衍射极限的限制，构筑纳米集成光路，已成为信息光子学的研究热点。表面等离激元介质波导是一种新颖而极具应用潜力的表面等离激元波导
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基于表面等离激元的光学元器件可以突破光学衍射极限的限制，构筑纳米集成光路，已成为信息光子学的研究热点。表面等离激元介质波导是一种新颖而极具应用潜力的表面等离激元波导结构，越来越引起人们的关注。本论文系统研究了表面等离激元介质纳米波导的理论设计、制备和表征。
利用集成光学中广泛使用的有效折射率法，计算和分析了830nm波长下表面等离激元单模介质波导的模式有效折射率、传输长度以及模式宽度等传输特性。综合考虑模式约束性和传输损耗，设计的830nm波长下表面等离激元单模介质波导的最佳截面尺寸分别为高300nm，宽230nm。
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