【摘 要】
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相较于传统激光雷达,MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微镜扫描激光雷达具有视场和分辨率可电控、体积小、重量轻等突出优势,是激光雷达的重要发展方向。本论文以MEMS
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相较于传统激光雷达,MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微镜扫描激光雷达具有视场和分辨率可电控、体积小、重量轻等突出优势,是激光雷达的重要发展方向。本论文以MEMS微镜激光雷达的研制为背景,建立了电磁式MEMS微镜系统运动的数学模型,对电磁式MEMS运动特性进行了详细的分析和计算。针对电磁式MEMS微镜由于快轴谐振点偏移所导致扫描角度过小的缺点,提出了一种谐振点实时解算的控制方法,设计了一种基于谐振点实时解算的微镜伺服控制系统,该系统由ARM+DDS组成。编写了相对应的控制程序。通过搭建电磁式MEMS微镜控制平台,实验测定了微镜系统的偏转角度随驱动信号的幅度、频率以及温度变化的关系曲线,并能使系统在保持慢轴30°、快轴40°的情况下稳定、可靠的实现光学扫描,达到了项目应用的基本要求。
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