【摘 要】
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该文完成的具体研究内容如下:针对测量表面倾斜时共焦光路的响应情况,利用基尔霍夫公式推导出了测量表面倾斜时的共焦轴向响应的理论模型;并对该理论模型进行了数值分析,使测
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该文完成的具体研究内容如下:针对测量表面倾斜时共焦光路的响应情况,利用基尔霍夫公式推导出了测量表面倾斜时的共焦轴向响应的理论模型;并对该理论模型进行了数值分析,使测量表面倾斜因素对共焦轴向响应的影响有了确切的理论描述.同时,应用所推导出的测量表面倾斜的反射式共焦轴向响应理论模型,研究了差动共焦光学测头的输出信号,得到了被测表面倾斜时的差动共焦测量系统输出信号模型;对共焦系统的轴向分辨特性(共焦轴向响应的半极值宽度)、差动共焦输出信号的过零点处斜率以及过零瞄准信号受测量表面倾斜因素的影响进行了数值分析.引入单光子荧光共焦显微技术的非相干共焦成像分析方法,研究了被测量对象为粗糙表面时反射式共焦轴向响应特性受其影响的规律,推导出了两者之间关系的理论模型,并对该理论模型进行了数值分析.同时研究了差动共焦输出信号受测量表面粗糙因素的影响规律.进一步研究了对共焦轴向响应的半极值宽度、差动共焦输出信号过零点处斜率和过零瞄准点受被测面粗糙因素的影响规律;在粗糙表面的共焦响应数学模型的基础上,研究了测量表面所用材料的光学反射特性对共焦及差动共焦输出特性的影响.
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