24对棒多晶硅还原炉进料喷嘴优化研究

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在多晶硅生产过程中,还原炉的能耗占据生产综合能耗的85%左右,如何降低还原炉能耗和提高一次转化率,是解决现有生产成本的一个主要方向。本论文主要研究、证明在还原生产过程中,直通喷嘴、五孔喷嘴、直通带侧吸喷嘴、S型喷嘴对生产能耗降低和产品质量提高的影响。  在研究过程中,首先利用Fluent流场模拟软件对五孔喷嘴与直通喷嘴进行计算机模拟分析,可以直观发现它们对还原炉内流场的影响。  然后通过实际生产实验,分别安排8台还原炉分别安装直通喷嘴与五孔喷嘴,然后在相同生产条件下收集、统计2种进料喷嘴在还原生产过程中形成的数据,根据它们的不足之处,经过改善优化进料喷嘴,要求8台还原炉分别安装直通侧吸喷嘴与S型喷嘴进行生产实验,具体数据如下:  直通型喷嘴综合实验平均电单耗为59.32 kWh/kg-Si、一次转化率为10.39%;  直通带侧吸喷嘴综合实验平均电单耗为64.15 Kwh/kg-si,一次转化率为10.44%;  五孔喷嘴综合实验平均电单耗为55.11 kWh/kg-Si,一次转化率为10.95%;  S型喷嘴综合实验平均电单耗为63.16 kWh/kg-Si,一次转化率为10.40%。  根据数据分析对比,说明4种进料喷嘴在多晶硅生产过程中对节能降耗与提高质量存在的影响,主要体现在还原炉电耗、一次转化率、硅棒外观质量等方面,从生产实验数据分析可得以下研究结论:  1、五孔喷嘴对还原运行节能降耗效果突出;  2、直通喷嘴对提高硅棒质量效果突出。
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