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M型六角钡铁氧体(BaM)由于具有稳定的化学性质、低损耗、高的磁晶各向异性以及旋磁特性,在磁记录和微波通信领域有着重要的应用。本文配置氢氧化铁、柠檬酸、EDTA三种溶胶体系,利用溶胶凝胶法制备钡铁氧体薄膜。主要研究溶胶体系中铁钡离子比、热处理温度和热处理时间等对钡铁氧体薄膜的织构、表面形貌和磁性能的影响。实验结果表明对于这三种体系的溶胶,均能得到具有C轴织构的BaM薄膜。铁、钡原子比为3、5、10.5、11和13.5的氢氧化铁溶胶体系均能够获得C轴取向的BaM薄膜。铁、钡原子比为10.5