【摘 要】
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本文就亚微米至纳米级厚度的超薄铜薄膜的拉伸及疲劳行为进行了研究。以聚酰亚胺为基体，在其上制备了50-128nm厚度的金属铜薄膜，利用基体的高弹性变形测定了铜薄膜的屈服应力，并
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本文就亚微米至纳米级厚度的超薄铜薄膜的拉伸及疲劳行为进行了研究。以聚酰亚胺为基体，在其上制备了50-128nm厚度的金属铜薄膜，利用基体的高弹性变形测定了铜薄膜的屈服应力，并研究了铜薄膜的形变与断裂行为，采用恒载荷幅及恒位移控制研究了超薄铜薄膜的疲劳损伤行为。探索了拉伸屈服强度的计算及疲劳寿命的定义方法。寻找出铜薄膜拉伸屈服强度及疲劳行为随薄膜厚度变化的规律。并利用SEM电子背散射成像、X射线衍射，聚焦离子束流对铜薄膜进行了微观结构表征。
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