新型高压LEDMOS器件的模型及验证

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功率集成电路的需求量与日俱增,方兴未艾。高压体硅LEDMOS(Lateral Extended Drain MOS)作为用于功率集成电路的一种新型横向高压MOS器件,得到广泛关注和研究。理论模型对提高 LEDMOS器件的击穿电压、降低导通电阻以及提高可靠性具有十分重要的意义,但尚未见用于高压 LEDMOS器件优化设计的相关理论模型,因此,对高压LEDMOS器件理论模型的研究至关重要。 论文研究并建立了高压LEDMOS的表面电场/电压模型、导通电阻模型、Kirk效应模型以及温度分布模型,基于这些模型设计出新型的高性能高压LEDMOS器件,同时建立了LEDMOS器件的 Hspice模型,并成功应用于PDP驱动芯片电路,经流片测试,满足PDP系统需求。在课题研究过程中,申请了专利26项,其中 15 项获得授权。论文对功率器件及功率集成电路的发展主要作出如下贡献: 1、研究并提出了能同时应用于器件关态和开态的高压体硅RESURF LEDMOS器件的表面电场/电压模型,揭示了不同场极板以及场极板下不同氧化层厚度与电场/电压分布的对应关系。 2、研究并提出了高压LEDMOS器件的导通电阻模型,该模型可以直接指导降低LEDMOS器件导通电阻的设计,并成功研制出优化结构的LEDMOS器件,其导通电阻比传统结构降低30%以上,相关成果获得4项国家发明专利。 3、提出一种漂移区分段线性注入的方法并建立了模型,据此研制出一种新型的LEDMOS器件,该器件的击穿电压比常规的LEDMOS提高58.8%,导通电阻降低87.4%。该成果申请了2项国家发明专利。 4、在分析高压LEDMOS器件的可靠性和热效应的基础上提出了LEDMOS器件的Kirk效应模型和表面温度分布模型,为高可靠的LEDMOS器件优化设计打下了基础。 5、基于上述结果,优化设计出高压NLEDMOS和PLEDMOS器件,并提出了相应的Hspice模型,运用该模型仿真后,并经流片验证,高压LEDMOS器件成功应用于高压集成电路,相关成果已获得3项国家发明专利。 6、提出了一种新型的高低压转换和驱动电路,并运用上述高压LEDMOS器件及相关模型成功研制出PDP行列驱动芯片,应用于高分辨率荫罩式PDP显示器,实现了DVD播放。相关成果发表在IEEE Trans.on Electron Devices等杂志上,并已获得4项国家发明专利并申请了国际发明专利1项。
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