【摘 要】
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过渡族金属氮化物(TMN,TM=Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W)薄膜由于具有高硬度、导电性、耐磨耐腐蚀、热稳定性、化学稳定性、扩散阻挡以及生物相容性被广泛地应用于航空航天、生物医学、微电子器件、汽车工业等领域。在这些应用中,薄膜的电学及摩擦磨损性质起到至关重要的作用,因此改善这些特性十分必要。现有研究表明,引入第二种金属元素可以改变薄膜的电导及摩擦磨损性质。但仍然存在以下问题:1
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过渡族金属氮化物(TMN,TM=Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W)薄膜由于具有高硬度、导电性、耐磨耐腐蚀、热稳定性、化学稳定性、扩散阻挡以及生物相容性被广泛地应用于航空航天、生物医学、微电子器件、汽车工业等领域。在这些应用中,薄膜的电学及摩擦磨损性质起到至关重要的作用,因此改善这些特性十分必要。现有研究表明,引入第二种金属元素可以改变薄膜的电导及摩擦磨损性质。但仍然存在以下问题:1.引入过渡族金属元素。(1)引入第二种过渡族金属元素结构到底是如何演变的,是形成固溶体结构还是多相混合结
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