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该论文首先详细地描述了分子束质谱的设计思想及相关的运行参数,然后如何将国产四极质谱离子源改造成具有阈值电离功能的离化器,最后报道了用该装置对氮、氢等离子体的实验诊断及初步的氮等离子体中物种浓度的模拟计算结果,主要工作成果有以下几方面:一、建立了国内首台用于较高气压活性物种诊断的分子束质谱装置.二、研制成功了国内第一套具有阈值电离能力的四极质谱离化器.三、对氢异常辉光放电阻极鞘层区中H<,n'+>(n=1-3)进行了诊断研究.四、在采用多重屏蔽、多端接地等措施后,克服了短脉冲、高电压放电引起的对仪器的各种干扰,首次实现了对线板式脉冲电晕放电氮等离子体中阴极板区阳离子的成功测定.五、对短间隙异常辉光放电氮等离子体的诊断研究.六、通过模拟计算氮等离子体中的粒(N<,2'+>、N<'+>、N)浓度,对实验结果进行了定量分析.