混合驱动式压电多自由度驱动器理论与试验研究

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近年来,随着科学技术的发展,在微/纳操作、精密光学、生物医学、超精密加工制造、航空航天等诸多高尖端技术领域,微/纳米级别的定位驱动技术对定位驱动系统的行程和精度有着越来越高的要求。截止目前,传统的定位驱动装置已经无法满足上述众多领域对高精度定位驱动技术的迫切需求。面向这些需求,具有精密定位驱动功能的新型压电驱动器应运而生,其中,以压电元件优良动态特性致动的惯性冲击式和尺蠖式驱动器,在精密定位驱动领域发展得尤为突出。相较于传统的驱动装置,这些新型压电驱动器往往因具有更紧凑的结构、更高的精度、更迅速的响
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