【摘 要】
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微加速度传感器作为一种惯性测量的基本器件,广泛的应用于汽车、自动控制、航空航天等多个领域,对它的研究由于微机械加工技术的发展与成熟而得到了科技界与产业界的共同重视
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微加速度传感器作为一种惯性测量的基本器件,广泛的应用于汽车、自动控制、航空航天等多个领域,对它的研究由于微机械加工技术的发展与成熟而得到了科技界与产业界的共同重视,应用方面也取得了较大进展.提高传感器性能的途径主要有两个,一是完善原有传感器的结构和制作工艺,使器件性能得以改进,二是研究新机理,采用新材料,制作新结构,以期制作出高性能的新型传感器.该论文即围绕着这两个方面开展了研究工作.第一,对压阻式加速度传感器的不同敏感结构进行了特点分析,归纳出了针对不同设计需求所应采用的相应结构.第二,设计了一种新型的体硅结构谐振式加速度传感器.第三,结合实验室的工艺条件对两种加速度传感器的体硅加工工艺进行了研究,提出了包括多台面硅膜结构加工方案、保角补偿设计方案、工艺监测图形设计等在内的优化后的工艺流程,并对微机械结构的版图设计进行了研究分析.
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