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来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
飞行光学聚焦特性自适应控制主要是从事中国科学院仪器研制项目"激光光束质量控制仪"的研制,从理论和实验上解决飞行光学聚焦特性的控制问题.该论文第2-5章为飞行光学聚焦特
【作 者】
:
高海军
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
飞行光学
聚焦特性
变形镜
工件台
掩模台
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